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詳細介紹
UPG408NC
Okamoto 創新達成終極平研”級之真平面化
創造出光學測定器、半導體、平坦度Pancl製造技術等追求近乎零瑕疵平面度之理想
Okamoto開發之超精密可變靜壓滑軌磨床，創造終極光滑表面，能以細粒度之砂輪作平面拋光加工，級精度可達平面度30nm/㎡
超精密大型平面磨床（機型規格左右600~6000mm/前後400~800mm）
大眾需求對大型加工物精度要求之時代已來臨
向大型液晶PANEL市場挑戰（環境溫度：20±0.2℃/168 hrs）
■滑 道－全軸非接觸式可變靜壓滑軌。
■主要特徵－基準面真直度：左右0.5μm以下/1000mm、前後0.4μm/800mm。
■穩 定－長時間壓力下有效抑制膨脹系數，達真平面，安定省電降低成本。
■可變靜壓－彈性式的控制油量壓力系統，將滑軌內油膜變化控制在最小限度。油膜厚度之變化量僅是一般油靜壓的1/7，滑軌內剛性亦強化4倍傲視群倫。
■靜壓油量－供給滑道面之靜壓油量抑制在向來油靜壓之1/3，大幅減低運轉成本。
■分解能力－2nm。
創造出光學測定器、半導體、平坦度Pancl製造技術等追求近乎零瑕疵平面度之理想
Okamoto開發之超精密可變靜壓滑軌磨床，創造終極光滑表面，能以細粒度之砂輪作平面拋光加工，級精度可達平面度30nm/㎡
超精密大型平面磨床（機型規格左右600~6000mm/前後400~800mm）
大眾需求對大型加工物精度要求之時代已來臨
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■滑 道－全軸非接觸式可變靜壓滑軌。
■主要特徵－基準面真直度：左右0.5μm以下/1000mm、前後0.4μm/800mm。
■穩 定－長時間壓力下有效抑制膨脹系數，達真平面，安定省電降低成本。
■可變靜壓－彈性式的控制油量壓力系統，將滑軌內油膜變化控制在最小限度。油膜厚度之變化量僅是一般油靜壓的1/7，滑軌內剛性亦強化4倍傲視群倫。
■靜壓油量－供給滑道面之靜壓油量抑制在向來油靜壓之1/3，大幅減低運轉成本。
■分解能力－2nm。
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