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Column形精密平面研削盤系列 (大型立柱移動式平面磨床)

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  • 型號 UDG10035NC
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更新時間:2021-09-30 16:34:49瀏覽次數:322

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產品簡介

Column形精密平面研削盤系列 (大型立柱移動式平面磨床)

詳細介紹

UDG10035NC
※UDG10035NC是可以研磨大型部件的龍門式平面磨床。在溫度保持在23±0.5℃的半地下工場運行。

超精密高剛性龍門式平面磨床 UDG10035NC ”終極平面磨床之大創成” 做到平面度30nm/m的級精度砂輪顆粒平面加工的岡本,以其加工範圍長10m、寬3.5m(通過寬度4m)的靜壓導軌面方式,完成一臺大的門型磨床。

特點:基準面的真直度精度,左右方向0.5μm/m、前後方向0.5μm/m
1.獨立的橫樑構造為了因應像是超高精度平面加工的要求,像是XY床臺用定盤及半導體、液晶裝置相關性配件加工,被橫樑保有2種滑軌(橫軸、回旋軸)是用來維持真直度,如此構成獨特的機械調整裝置(申請許可中)。不只是重視橫樑方向(前後方向)精度,也能同時重視作業面積所有寬的平面精度。

2.採用可變靜壓滑動系統床臺左右的導軌面及橫樑上,加強採用了岡本獨特的可變靜壓滑動系統。這種方法可彈性控制流量,導軌面油膜的變化降到最小減輕床臺負荷,並持續保持導軌面的一定溝數。與固定油量加壓的靜壓方式比起來,導軌面的剛性可高出4倍之多。

3.溫度管理系統本機型必須於裝配的同時一邊注意精度變化,並且在23℃±0.5℃恆溫隔間的嚴密溫度管理下完成組裝。除此之外,集中檢測出橫樑下方、主軸靜壓油溫、摺動面靜壓油溫、冷卻式水溫、主軸蓋等等10個地方的溫度,並採用空調管理系統保持狀態。

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