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MCV-500+SD-500激光干涉儀

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更新時間:2021-07-28 09:32:20瀏覽次數:789

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產品簡介

MCV-500+SD-500除具有MCV-500位移測量功能外,還具有矢量體積(空間精度)測量功能(矢量測量方法與儀器,美國6519043號2003年2月11日)

詳細介紹

 

MCV-500+SD-500除具有MCV-500位移測量功能外,還具有矢量體積(空間精度)測量功能(矢量測量方法與儀器,美國65190432003211日)。它用長方形平面鏡做靶標,通過對機床四根對角線的分軸不僅測量和分析可以得到機床的十二項誤差:三項垂直度誤差、三項直線位移誤差、六項直線度誤差。通過對這十二項誤差的補償來提高機床的空間精度,軟件可根據不同的控制器自動生成相應的補償程序進行補償,也可通過軟件對零件加工程序G代碼自動修正,提高零件加工精度。

 

檢測功能:

1
、三維矢量法分軸步進空間體對角線檢測
通過分軸步進對三維空間四根對角線測量可同時得到:
X
YZ 軸的3 個定位精度誤差;
X
YZ 軸的水平、垂直方向的6 個直線度誤差;
X
YZ 軸之間的3 個垂直度誤差;
測量范圍:(3m×2m×1m)空間;

2
、二維矢量法分軸步進平面體對角線檢測
通過分軸步進對二維平面兩根對角線測量可同時得到:
X
Y 軸的2 個定位精度誤差;
X
Y 軸的水平、垂直方向的4 個直線度誤差;
X
Y 軸之間的1 個垂直度誤差;
測量范圍:(3m×2m)空間;

3
、購買SD-500 后,還可以實現傳統體對角線檢測
可以通過XYZ 三軸聯動直接檢測三維空間的四根體對角線精度;
標準依據:ISO230-6

 

MCV-500基本技術參數

激光頻率穩定性

±0.05ppm

氦氖激光管

2

激光輸出功率

1mW

激光管壽命

40000小時

空氣溫度傳感器精度

±0.1

空氣壓力傳感器精度

±1.1mmHg

材料溫度傳感器精度

±0.1

環境溫度(濕度)

5-38 0-95%)

電源電壓(電源頻率)

90-265V50-60Hz

線性位移測量

測量距離

≥15m30m,60m,100m可選)

分辨率

1nm

精度

±0.5ppm


速度

5m/

向量法體對角線檢測

分辨率

1nm

精度

±0.5ppm

測量范圍

3m×2m×1m

速度

4m /

可檢測出機床3個定位精度、6個直線度、3個垂直度誤差

 

 

 

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