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更新時間:2021-07-14 13:31:52瀏覽次數:445

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產品簡介

LMG2A產品描述產品特征:行程4mx4m以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾,Z向震動可達奈米等級以下速度可達5m/s,標準重現精度1um或以下位置回饋系統解析度可達50nm

詳細介紹

LMG2A

  • 產品描述


產品特征:

行程4m x 4m

以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾,Z向震動可達奈米等級以下速度可達5m/s,標準重現精度1um或以下位置回饋系統解析度可達50nm。


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