a). 主體

b). 研磨主軸控制系統

c). 雙頭工作軸控制系統  

d). 擺動控制系統(防止偏心) 

e). 自動研磨盤修整和開槽控制系統

f). 研磨液攪拌泵系統

g). 防塵蓋與防塵控制系統

a). 任意設置5片φ2;芯片的加工條件，程序設置簡單通過設定時間來完成單面研磨操作 可按工藝程序進行參數變更并可加工用于研發的其它樣品

b)防止芯片偏心在2個工作軸固定好芯片的陶瓷盤，并應用重復自轉和擺動方式

將芯片的偏心現象減少到最小(偏心控制≤±2μm/1-block)

c). 研磨盤平行度及開槽控制系統平整研磨盤及開槽工藝可以用一次命令來完成

可在磨損后的研磨盤上直接刻出新槽，提高工作效率。

a). 研磨盤控制系統

-研磨盤尺寸: φ460mmXφ100mm

-研磨盤轉速: 20 ~ 220 rpm

-設置時間: 0.1 ~ 30 min

-滾球軸承類型

-馬達驅動 (kW) : 2.2kW,220V, 3P

b). 驅動控制系統

-擺動: Ac 伺服馬達  100W

-馬達驅動: Ac 齒輪馬達  60W, 2 工作頭

-驅動電源: 380V , 50Hz /60Hz, 5.0kW/30A

-驅動氣壓: 5.5~6 kg f/㎠  (0.55 ~0.6Mpa),φ8

-冷卻液管道: φ8

c). 研磨液自動噴灑系統

-噴灑系統數量: 2 個

-噴灑時間控制: 1 ~ 999 sec

-持續時間控制: 1 ~ 9 sec

d). 研磨盤自動修整系統及冷卻系統

-修整尺寸: 200 mm

-修整速度: 400 mm/min

-修整最小速度: 5 mm/min

-開槽距離: 0.1 ~9.9mm

-開槽深度控制系統: 手動千分尺

-馬達驅動: 0.2 kW AC 伺服馬達

-修整后平面度: ±2μm

-修整刀尺寸: 10 x 10 x 100 mm

-循環水冷卻系統

e). 操作面板

-PLC控制系統

-按鍵控制系統

f). 空氣壓力控制系統

-基于氣缸的可變穩定壓力系統

- φ62X200st

g). 消耗品及配件

-研磨盤:  研磨樹脂銅盤O.Dφ460cmXI.Dφ100cm

-陶瓷引導環:φ170cm

-上蠟陶瓷盤: φ150mmX15t

-自動攪拌器，噴嘴，攪拌棒

-修整刀 60°X0.3R

-研磨液:6μm

設備尺寸: 1,250mm(W)X1,640mm(L)X1,950mm(H)

i). 設備重量: 2,400Kg

j). 預計產量: 7,000片/月