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詳細(xì)介紹
高剛性研磨機--HRG200X
特征 
■ 全自動高剛性 2 軸研磨盤
■ 實現(xiàn)在短時間之內(nèi)的無損加工
■ 低加工成本
■ 高精度加工
■ 實現(xiàn)鏡面加工
可研磨材料：難加工材料，比如碳化硅，LT,LN
可加工尺寸： 尺寸：直徑3-8英寸
●規(guī)格參數(shù)
類別 | HRG200X |
全自動高剛性雙軸研磨機 | |
設(shè)備尺寸和重量 | 尺寸：1540（W）×2050(D)×2010(H) mm |
重量：4500 kg | |
晶圓尺寸（mm） | 200 |
磨輪直徑（mm） | 250 |
主軸轉(zhuǎn)速（rpm） | Max.3600 |
工作臺轉(zhuǎn)速(rpm) | Max.800 |
主軸功率(KW) | 6.3 |
單片總厚度偏差:TTV(μm) | 1 |
片與片厚度偏差：WTW(μm) | ±1 |
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