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詳細介紹
可對應高精度少量的研磨加工
應用：
半導體材料：Si、Ge、GaAs、藍寶石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等
精密光學：光學晶體、光學鏡頭、玻璃基板、ITO玻璃、藍寶石玻璃、濾波材料等
晶體材料：鈮酸鋰、鉭酸鋰、YAG、石英、紅外材料等
特點：
伺服修盤系統(tǒng)，確保磨盤足夠的平坦度。磨盤在線檢測恒溫系統(tǒng)，防止工件變形及脫片。多段貨柔性加壓系統(tǒng)，滿足復雜的加工工藝要求。數(shù)字化加液系統(tǒng)，減少磨液損耗。四工位獨立變速控制系統(tǒng)。
參選型號：
Q系列 單平面研磨機-KD24QX
雙端面研磨機 7系列 KS700Y
CMP高精密研磨拋光機 -KD36QS4
雙端面研磨機-Y系列
為您提供高效、高精度的平面研磨拋光設(shè)備，在此，我們愿以多年積累的技術(shù)經(jīng)驗，為您提供更多的選擇，令您的自動化磨加工系統(tǒng)日益完善、便捷。
| 型號 | KD24QS4 | KD36QS4 |
|---|---|---|
| 磨盤尺寸（mm） | ?630 | ?910 |
| 工件盤外徑（mm） | ?248 | ?360 |
| 磨盤轉(zhuǎn)速（mm） | 0-110 | 5-90 |
| 主電機功率（mm） | 4.5 | 15 |
| 氣壓（MPa） | 0.6 | 0.6 |
| 總功率（KW/380V） | 9.5 | 16 |
| 毛重（mm） | 2400 | 3650 |
| 外形尺寸（L*W*H)mm | 1200*1350*2250 | 1360*1330*2650 |
資料待更新
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