詳細介紹
可對應高精度少量的研磨加工
應用:
半導體材料:Si、Ge、GaAs、藍寶石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等
精密光學:光學晶體、光學鏡頭、玻璃基板、ITO玻璃、藍寶石玻璃、濾波材料等
晶體材料:鈮酸鋰、鉭酸鋰、YAG、石英、紅外材料等

特點:
伺服修盤系統,確保磨盤足夠的平坦度。磨盤在線檢測恒溫系統,防止工件變形及脫片。多段貨柔性加壓系統,滿足復雜的加工工藝要求。數字化加液系統,減少磨液損耗。四工位獨立變速控制系統。

參選型號:

Q系列 單平面研磨機-KD24QX

雙端面研磨機 7系列 KS700Y

CMP高精密研磨拋光機 -KD36QS4

雙端面研磨機-Y系列
為您提供高效、高精度的平面研磨拋光設備,在此,我們愿以多年積累的技術經驗,為您提供更多的選擇,令您的自動化磨加工系統日益完善、便捷。
型號 | KD24QS4 | KD36QS4 |
---|---|---|
磨盤尺寸(mm) | ?630 | ?910 |
工件盤外徑(mm) | ?248 | ?360 |
磨盤轉速(mm) | 0-110 | 5-90 |
主電機功率(mm) | 4.5 | 15 |
氣壓(MPa) | 0.6 | 0.6 |
總功率(KW/380V) | 9.5 | 16 |
毛重(mm) | 2400 | 3650 |
外形尺寸(L*W*H)mm | 1200*1350*2250 | 1360*1330*2650 |
資料待更新