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精密四工位CMP拋光機KD36QS4

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  • 型號 應用領域:半導體材料、精密光學、晶體材料
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更新時間:2021-04-29 09:12:18瀏覽次數:375

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產品簡介

精密四工位CMP拋光機KD36QS4

詳細介紹

可對應高精度少量的研磨加工

應用:
半導體材料:Si、Ge、GaAs、藍寶石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等
精密光學:光學晶體、光學鏡頭、玻璃基板、ITO玻璃、藍寶石玻璃、濾波材料等
晶體材料:鈮酸鋰、鉭酸鋰、YAG、石英、紅外材料等

特點:

伺服修盤系統,確保磨盤足夠的平坦度。磨盤在線檢測恒溫系統,防止工件變形及脫片。多段貨柔性加壓系統,滿足復雜的加工工藝要求。數字化加液系統,減少磨液損耗。四工位獨立變速控制系統。

參選型號:

為您提供高效、高精度的平面研磨拋光設備,在此,我們愿以多年積累的技術經驗,為您提供更多的選擇,令您的自動化磨加工系統日益完善、便捷。

型號KD24QS4KD36QS4
磨盤尺寸(mm)?630?910
工件盤外徑(mm)?248?360
磨盤轉速(mm)0-1105-90
主電機功率(mm)4.515
氣壓(MPa)0.60.6
總功率(KW/380V)9.516
毛重(mm)24003650
外形尺寸(L*W*H)mm1200*1350*22501360*1330*2650
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