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精密機械加工是一種用加工機械對工件的外形尺寸或性能進行改變的過程。按被加工的工件處于的溫度狀態，分為冷加工和熱加工。一般在常溫下加工，并且不引起工件的化學或物相變化，稱冷加工。

一般在高于或低于常溫狀態的加工，會引起工件的化學或物相變化，稱熱加工。冷加工按加工方式的差別可分為切削加工和壓力加工。熱加工常見有熱處理，鍛造，鑄造和焊接。細微加工，廣義地說，是指微小尺寸或者小操作尺寸的加工。

一般外形尺寸小于3毫米，以及少無切削加工工藝等都屬于細微加工。在航空航天、精密儀器、生物醫療等方面都有廣泛應用。細微加工除了機械加工外，多采用電加工、化學加工、波加工、等離子、激光、粒子、光刻等工藝手段。

從狹義的角度來講，細微加工主要是指半導體集成電路制造技術。細微加工，不一定是精密加工。尤其在半導體集成電路制造技術領域，他們對精度的定義、要求與傳統機械加工的精度定義不一樣。數控機床不一定是精密機床。數控技術解決的是控制、檢測、反饋、運算以及部分的執行機構。機械加工的精度主要還是取決于機械構件的精度。