產品型號

高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層Al₂O₃纖維鋼構，無需水冷或風冷。

2、內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3、PID控制器，可以設置30段升降溫程序，并設有過熱保護和斷偶功能。

4、已通過CE認證。

技術參數

1、電源：單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  10KW

2、石英管：外徑Ø110mm，內徑Ø103mm，長380mm

3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Ø10mm，燈長300mm

4、加熱區：300mm

5、工作溫度：高溫度1100℃

6、控溫精度：±0.5℃

7、高升溫速度：RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s

8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制

9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水　冷，循環水流量為0.5m³/hr

10、真空度：10^-2torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

11、質量流量計：3個，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS

12、混氣罐：Ø80mm×120mm

產品規格

尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統600mm×600mm×597mm

重量：爐體45kg，真空混氣系統75kg