產品型號

開啟式單溫區低真空CVD系統OTF-1200X-F3LV

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有循環風冷系統，殼體溫度<60℃。

2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

3、采用PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序。

4、設有超溫及斷偶報警功能。

5、已通過CE認證。

技術參數

1、電源：AC 220V   50/60Hz  2.5KW

2、石英管：外徑Ø80mm，內徑Ø75mm，長1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區域：440mm

5、恒溫區域：150mm

6、工作溫度：高1200℃，連續工作1100℃

7、大升降溫速率：20℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：5.5×10^-3torr（機械泵），10^-4torr（分子泵）

10、泄漏率：<5mtorr/min

11、浮子流量計：3個；10ml/min-100ml/min，16ml/min-160ml/min，25ml/min-250ml/min

12、壓力表：4個

產品規格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，混氣系統600mm×600mm×597mm；重量：60kg