產品型號

微型PECVD系統

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、加熱圈套有石英罩，以減小熱量損失。

2、樣品可置于加圈內，以達到更好的加熱效率和溫度均勻性。

3、采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序。

4、設有一滑動法蘭安裝于移動加上，以便于樣品的放入和取出。

5、已通過CE認證。

技術參數

等離子源

1、等離子體射頻電源：110V/220V  50Hz/60Hz   <100W

2、輸出頻率：13.56MHz

3、射頻功率：7.2W、10.5W、18W三檔，可調節

4、腔體尺寸：外徑Ø76.2mm×內徑Ø68.58mm×長406.4mm

5、加熱圈：電源220V，大功率500W，外徑Ø50mm×內徑Ø40mm×70mm，并套有內徑Ø50.8mm×Ø75mm的石英罩

6、法蘭：Ø3″不銹鋼法蘭，設有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

7、通入氣體：可通入多種惰性氣體，如N₂、Ar，不可通入易燃易爆性氣體

8、真空度：10^-2torr（機械泵）

兩通道混氣系統

1、浮子流量計：10ml/min-100ml/min，2個

2、針閥：304不銹鋼針閥，3個

3、壓力表：-0.1MPa-1.0MPa（0.01MPa/grid），3個

真空泵

1、抽氣速率：120L/min

2、接口：KF-25

產品規格

1、尺寸：等離子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，

　　　　 兩通道混氣系統340mm×300mm×180mm，移動架600mm×600mm×1250mm

2、重量：32kg