產品型號

高真空PECVD系統

主要特點

1、系統采用單室方箱式結構，手動前開門；

2、真空室組件及配備零部件全部采用優質不銹鋼材料制造（304），氬弧焊接，表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口，并帶擋板，真空尺寸為300mm×300×280mm；

3、采用樣品在下，噴淋頭在上噴淋式進氣方式

4、氣路設有勻氣系統，真空室內設有保證抽氣均勻性抽氣裝置

5、系統設有硅烷尾氣處理系統(高溫裂解方式)。

技術參數

1、停泵關機12小時后真空度：≤5 Pa；

2、樣品加熱高加熱溫度：300℃，溫控精度：±1°C，采用日本進口控溫表進行控溫；

3、噴淋頭尺寸：200×200mm，噴淋頭與樣品之間電極間距20-80mm連續可調，并帶有標尺指數顯示，采用金屬焊接波紋管+進口直線導軌+進口絲杠+進口光軸方式，升降平穩、無抖動，保證了電極與樣品的平行度；

4、 沉積工作真空：13-1300Pa；

5、射頻電源：頻率 13.56MHz，大功率500W，全自動匹配；

6、SiH4、NH3、N2O、N2、H2、Ar 6路氣體，共計使用6個質量流量控制器控制進氣。

標準配件

可選配件