產品型號

GSL-ZDDZS-500電子束蒸鍍

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備配有自循環冷卻水機，水溫小于25℃，水壓0.25-0.4Mpa，流量高于12 l/min（加注純凈水或者去離子水）；

2、電：AC380V 50Hz，功率大于10KW，波動范圍：小于±6％，必須有良好接地（對地電阻小于2Ω）；

3、氣：設備腔室內需充注氮/氬氣（純度99.99%以上），需自備氮/氬氣氣瓶（自帶Ø10mm雙卡套接頭）及減壓閥

4、場地面積：設備尺寸2000mm×2000mm，承重1000kg以上

5、通風裝置：需要（外排廢氣管道）；

主要特點

1、由于電子束定位準確能量很高，可蒸發難熔金屬或化合物，蒸發速率快；

2、體積小，操作簡便可以非常容易的放置材料和清理；

3、蒸發材料放置在水冷銅坩堝中，可避免坩堝材料的污染，制備高純薄膜；

4、由于蒸發物面積小，因而熱輻射損失小，熱效率高；

技術參數

1、極限真空度：≤6.67x10-5 Pa (經烘烤除氣后)；

2、系統真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；

3、系統短時間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開始抽氣，45分鐘可達到6.6x10-4 Pa；

基片參數

1、基片尺寸：可放置φ4″基片（帶手動擋板）；

2、基片加熱高溫度 800℃±1℃，由熱電偶閉環反饋控制；

3、基片可連續回轉，轉速5～60轉/分；

4、基片與蒸發源之間距離300～350mm可調；

電子束蒸發源參數

1、E型電子槍，陽極電壓6KV、8KV；
2、電子槍坩堝：水冷銅坩堝，四穴設計，每個熔煉11ml ；
3、電子束功率0-6KW可調；

真空腔體

1、U型真空室尺寸Ф500X600mm，選用優質不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進行特殊工藝拋光處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；

2、真空腔體前開門鉸鏈結構，方便取、放樣品；

3、前開門設有兩個觀察窗接口，可以觀察電子槍和基片；

4、設備預留膜厚儀接口，可選配膜厚儀；

5、高真空分子泵機組，閘板閥隔斷（也可使用高真空擋板閥）；

產品規格

整機尺寸：1800mm×1200mm×2000mm；

標準配件

1

電源控制系統

1套

2

真空獲得機組

1套

3

真空測量

1套

4

電子槍

1套