當前位置：沈陽科晶自動化設備有限公司>>真空泵組>> SKCC-ZZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（自旋轉靶頭）
產品簡介：SKCC-ZZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（自旋轉靶頭）適用靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。可與DC或RF電源配合使用。
產品型號 | SKCC-ZZB-X（高真空磁控濺射自旋轉靶頭） |
產品規格 | 2寸，SKCC-ZZB-2 3寸，SKCC-ZZB-3 4寸，SKCC-ZZB-4 5寸，SKCC-ZZB-5 6寸，SKCC-ZZB-6 7寸，SKCC-ZZB-7 |
主要特點 | 1、轉靶帶擋板（可電動控制，可手動控制）； 2、采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均勻分布； 3、轉靶轉速5~60轉/分可調； 4、標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。 5、安裝采用標準真空接頭，便于操作。 6、靶材更換較為簡單，無需調整濺射頭的高度。 |
配套電源 | 1、直流DC；2、射頻RF |
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