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超精密數控機床系統主要有三個部分：主軸、橫向進給機構、縱向進給機構。

高速三軸數控機床主軸由空氣磁力軸承支承，小型三軸數控機床用帶有變頻器的電動機驅動，功率為1500W；橫向進給機構與縱向進給機構均采用花崗石滑臺與方導軌結構，各由一臺伺服直接驅動滾珠絲杠帶動滑臺在導軌上移動，電動機功率為850W。

技術要求：

（1）橫、縱向進給的操作采用手柄式控制開關操作（十字選擇開關，中間有快速選擇按鈕）。

（2）進給的速度可調（最小為2mm/min），可實現自動/手動進給，移動精度為0.1um。

（3）橫、縱向的移動應有鎖定開關。

（4）主軸旋轉可調速50-1800r/min（60Hz達到1800r）采用無級變速，且有相對的轉速指示。

（5）主軸旋轉的起、停均需有緩沖過程（慢爬、慢停），主軸旋轉應有保護電路，斷電時應緩慢停止旋轉。

（6）氣壓保護，控制機床的正常運轉（0.4MPa），低于設定值時機床不能工作（或停止工作）。

（7）電源、氣源有正常工作燈指示。

（8）其余要求按常規機床實施。有電控箱、人機對話控制臺、手柄式控制進給操作手柄組成。