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詳細介紹
• 世界自動化且精度高的測量顯微鏡(小顯示分辨力0.01um)。
• 主機的前臺操作設計是基于UD( 通用化設計)的理念。
• 配備三軸電動前置控制手柄，這使傳統的顯微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運動的過程中也能進行精細定位。
• 用戶可選擇傳統的顯微鏡光學管路或帶內置激光自動對焦功能的光學管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
• 行程為250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數頭。
• 的數據處理裝置QM-Data200 和Vision Unit可結合使用，提供有效且穩定的測量環境。
• 晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動轉塔型擁有回縮功能，該功能在更換物鏡時啟動工作。
• 轉塔、物鏡和照明裝置為選件。
Hyper MF-U
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