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詳細介紹
配有多種參數。評估型表面粗糙度測量儀同時配置分析功能。
● 裝置配備FORMTRACEPAK表面粗糙度/輪廓分析程序。
● 標配高分辨率的Z1軸檢出器，高顯示分辨力為0.0001µm(測量范圍為8µm時)。
● X軸驅動裝置裝配高精度玻璃光柵尺，實現X軸方向移動的高精準定位。 SV-3200
系列為驅動裝置采用陶瓷導軌以提高抗磨性，延長使用壽命。
● X軸的分辨力為0.05µm。
● 標準或低測力檢出器(4mN/0.75mN)的選擇，無需考慮設備本體是否有裝配傾斜
裝置。
● Z2軸(立柱)的700mm型上市。
● X軸驅動裝置裝配高精度玻璃光柵尺，實現X軸方向移動的高精準定位。 SV-3200
系列為驅動裝置采用陶瓷導軌以提高抗磨性，延長使用壽命。
● X軸的分辨力為0.05µm。
● 標準或低測力檢出器(4mN/0.75mN)的選擇，無需考慮設備本體是否有裝配傾斜
裝置。
● Z2軸(立柱)的700mm型上市。
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