“ZCS-QPM250高精度氣靜壓三軸氣浮數(shù)控平面磨床" ，采用氣靜壓砂輪電主軸，X/Y二軸高精度氣浮導軌。臺達PLC、臺達伺服電機和驅(qū)動器組成伺服驅(qū)動系統(tǒng)。使整機達到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具體參數(shù)如下：

一、技術(shù)特點：

  該磨床采用氣靜壓砂輪電主軸、X/Y二軸高精度氣浮導軌，三級高精度過濾器組成高精密氣靜壓平面磨床的加工軸系。使整機達到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。

  工作臺的左右、前后運動機構(gòu)采用伺服電機驅(qū)動控制系統(tǒng)，具備緩沖換向功能。磨頭上下進給采用高精度滾珠絲杠加臺達128萬線高精度伺服電機驅(qū)動系統(tǒng)升降，具有快進、慢進、微進給，自動、手動功能，操作方便、靈活可靠、無振動、精度穩(wěn)定、熱穩(wěn)定性好、噪聲低、維護保養(yǎng)方便等特點。

  X/Y二軸采用高精度氣靜壓(氣浮)導軌，具有高承載、高精度，高平穩(wěn)性，無摩擦，不磨損等性能。

  氣靜壓砂輪電主軸采用臺達系列變頻控制器實現(xiàn)無級調(diào)速。

  該磨床在氣路、水路進口處加有壓力傳感器，具有過流、過載、氣壓低于下限、以及冷卻水斷流等故障報警保護功能。并且具有和上位機通訊功能（RS-485）。

二、整機主要技術(shù)參數(shù)表