具體型號

VMS250

(X/Y/Z軸)量測行程(mm)

250*150*200

全機尺寸(mm)

1000*650*1650

X,Y軸量測精度

（3+L/200）μm

放大倍率

光學放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光學尺解析度

1μm

測量系統

OVM Lite

重復性

2μm

操作方式

手動

CCD

3DFamily-L 41萬像素，彩色

機臺承重量

30KG

具體型號

VMS300

(X/Y/Z軸)量測行程(mm)

300*200*200

全機尺寸(mm)

1000*650*1650

X,Y軸量測精度

（3+L/200）μm

放大倍率

光學放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光學尺解析度

1μm

測量系統

OVM Lite

重復性

2μm

操作方式

手動

CCD

3DFamily-L 41萬像素，彩色

機臺承重量

30KG

具體型號

VMS400

(X/Y/Z軸)量測行程(mm)

400*300*200

全機尺寸(mm)

1000*650*1650

X,Y軸量測精度

（3+L/200）μm

放大倍率

光學放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光學尺解析度

1μm

測量系統

OVM Lite

重復性

2μm

操作方式

手動

CCD

3DFamily-L 41萬像素，彩色

機臺承重量

30KG

電源供給

110/220V，50/60HZ，240W

保修期

1年