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硅氧烷?臭氧去除器

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產品型號SFX

品       牌

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更新時間:2023-04-23 16:11:32瀏覽次數:398次

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專用于硅氧烷吸附及臭氧分解的去除器。99%以上的高去除率使得壓縮空氣、氮氣在保持加壓狀態下,可以大流量使用。行業半導體制造工序(后工序)安裝

【1臺即可去除2種污染物】
采用活性碳濾芯,1臺即可去除硅氧烷和臭氧。

【可對應高壓、大流量】
壓縮空氣、氮氣在保持加壓狀態下,可以大流量使用。

【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。

【省空間】
可連接本公司的調質元件及模塊,實現省配線。

型號 名稱 連接工序環境溫度、流體溫度 備注
SFX40-8硅氧烷、臭氧去除器Rc1/45~50℃
SFX40-10硅氧烷、臭氧去除器Rc3/85~50℃
SFX40-15硅氧烷、臭氧去除器Rc1/25~50℃

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