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【大幅縮短真空破壞時間】
真空發生閥備有常閉型及可省電的自保持型。
所有閥均具有*的響應性，實現了真空系統的高循環化。
【輕量、緊湊】
10.5mm寬的緊湊本體，多連使用時也可緊湊安裝。
固定方法分為從側面使用螺釘等固定的直接固定型，以及可安裝在DIN導軌上的DIN導軌安裝型。
| 型號 | 名稱 | 噴嘴直徑 | 備注 |
|---|---|---|---|
| VSX-H | 單品型?高真空?中流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSX-L | 單品型?中真空?大流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSX-E | 單品型?高真空?小流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-H | 集成型?高真空?中流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-L | 集成型?中真空?大流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-E | 集成型?高真空?小流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-Z | 集成型?混合規格 | - |
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