詳細(xì)介紹
6英寸激光干涉儀
--*大測(cè)量口徑:150mm(平面與球面)
--氣浮隔振系統(tǒng),大理石平臺(tái)
--氣浮移動(dòng)導(dǎo)軌,零件托盤(pán)快速移動(dòng),臺(tái)面傾斜可調(diào)
--9英寸顯示器
--Z軸上下行程:850mm(球面測(cè)量)
--6英寸平面參考物鏡,λ/10
--6英寸球面參考物鏡,λ/10-----F/0.75; F/1.5; F/3.3; F/7.2
測(cè)量分析軟件可選
--*大測(cè)量口徑:150mm(平面與球面)
--氣浮隔振系統(tǒng),大理石平臺(tái)
--氣浮移動(dòng)導(dǎo)軌,零件托盤(pán)快速移動(dòng),臺(tái)面傾斜可調(diào)
--9英寸顯示器
--Z軸上下行程:850mm(球面測(cè)量)
--6英寸平面參考物鏡,λ/10
--6英寸球面參考物鏡,λ/10-----F/0.75; F/1.5; F/3.3; F/7.2
測(cè)量分析軟件可選