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- 系 統：
- 傳感器與生產線相結合使得在測量微米和亞微米級別的表面特性時該設備可以提供高分辨率，可重復型和可溯源的結果。所測得結果的分辨率是傳統2D測量和接觸式測量所不能比擬的。
- 優 勢：
- 在研發和生產過程中，自動變焦（Focus-variation)技術可以提供高分辨率、高重復性的測量結果。因此IF-SensorR25為研發和生產提供了同一個測量流程平臺。標準化界面(QDAS)支持生產中的簡易快速整合，實現了生產線和實驗室測量結果的對比。
詳細介紹
光學三維在線測量儀IF-Sensor R25
光學三維在線測量儀IF-SensorR25 是奧地利Bruker Alicona公司專門針對生產中全自動測量形貌和粗糙度而設計的一款光學三維測量儀。
光學三維在線測量儀IF-SensorR25的技術參數：
位移距離（Z）：26mm（自動調節）
大掃描高度：25mm
垂直分辨率：20nm
小測量半徑：2μm
小測量楔角：20°
小測量粗糙度(Ra):80nm
小測量粗糙度(Sa):50nm
大測量傾斜角：87°
大掃描高度：25mm
垂直分辨率：20nm
小測量半徑：2μm
小測量楔角：20°
小測量粗糙度(Ra):80nm
小測量粗糙度(Sa):50nm
大測量傾斜角：87°
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