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全自動*測量儀IF-EdgeMaster

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更新時間:2020-08-19 10:25:32瀏覽次數:515

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產品簡介

詳細介紹

全自動*測量儀IF-EdgeMaster

全自動*測量儀IF-EdgeMaster是奧地利Bruker Alicona公司專門針對*檢測而研發的一款全新產品,操作原理是新型自動變焦(Focus-Variation)技術,該技術是光學系統的小景深和垂直掃描相結合。儀器的垂直掃描精度可以達到20納米,既可以測量*的形貌,也可以測量*刃口和槽型內外的粗糙度。
全自動*測量儀IF-EdgeMaster的功能:
不同槽型的表面粗糙度的測量
*刃口的鈍化半徑的測量
*刃口的鈍化值(K a b)自動測量
*刃口的粗糙度的測量
*磨損的偏差測量、磨損體積的測量
*刃口的角度測量 (前角、后角、揳角)
不同倒棱的倒棱寬度、角度

全自動*測量儀IF-EdgeMaster的主要技術參數:

位移范圍(X/Y軸):25mm×25mm
位移范圍(Z軸):130mm(26mm自動)
光源:24個分區的LED環形光
垂直分辨率:20nm
小測量半徑:2μm
小測量楔角:20°
小測量粗糙度(Ra):80nm
小測量粗糙度(Sa):50nm
大倒棱長度:4000μm
大測量傾斜角:87°
樣品表面結構:表面形貌Ra>9nm,Lc=2μm
大樣品高度:155mm
大樣品重量:4kg

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