1概覽

Simply the best AFM for automatic defect review and surface roughness measurement

對于媒介和基體領(lǐng)域的工程師而言，識別納米級缺陷是一個非常耗時的工作。Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可借助數(shù)量級實(shí)現(xiàn)自動缺陷識別、掃描和分析，從而加快缺陷的檢查過程。Park NX-HDM可與眾多的光學(xué)檢查工具直接進(jìn)行連接，這就意味著自動缺點(diǎn)檢查通量會大幅提高。此外，Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測量功能。憑借著業(yè)內(nèi)低的本底噪聲和*的True Non-Contact?技術(shù)，Park NX-HDM毫無疑問是市面上表面粗糙度測量確的原子力顯微鏡。

Higher Throughput, Automatic Defect Review

對于媒介和基體領(lǐng)域的工程師而言，識別納米級缺陷是一個非常耗時的工作。Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可借助數(shù)量級實(shí)現(xiàn)自動缺陷識別、掃描和分析， 從而加快缺陷的檢查過程。Park NX-HDM可與眾多的光學(xué)檢查工具直接進(jìn)行連接，這就意味著自動缺點(diǎn)檢查通量會大幅提高。

Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement

業(yè)內(nèi)對于超平媒介和基體的要求越來越高，所以需要滿足設(shè)備體積不斷減小的需求。此外，Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測量功能。憑借著業(yè)內(nèi)低的本底噪聲和*的True Non-Contact?技術(shù)，Park NX-HDM毫無疑問是市面上表面粗糙度測量確的原子力顯微鏡。

2應(yīng)用

Automatic Defect Review for Media and Substrates

Higher Throughput, Automatic Defect Review

NX-HDM的自動缺陷檢查功能(Park ADR)可加速和改良媒介和基體缺陷的識別、掃描和分析流程。借助光學(xué)檢查工具所提供的缺陷位置圖，Park ADR可自動定位這些位置并進(jìn)行成像（分兩步）：

(1) 縮小掃描成像，以準(zhǔn)確定位缺陷。

(2) 放大掃描成像，以獲取缺陷的細(xì)節(jié)。在真實(shí)缺陷測試中，我們可以看到相比于傳統(tǒng)的方法，該自動功能可將缺陷檢查通量提高10倍。

Automated Search Scan & Zoom-in Scan

經(jīng)過優(yōu)化的掃描參數(shù)讓兩步式掃描更為快速：

(1) 快速的低分辨率搜尋式掃描，來準(zhǔn)確定位缺陷。

(2) 高分辨率的放大掃描，來獲取缺陷的細(xì)節(jié)。可調(diào)節(jié)的掃描尺寸和掃描速度參數(shù)能滿足用戶的所有需求。

Automatic Transfer and Alignment of Defect Maps to AFM

借助*的*映射算法，從自動光學(xué)檢測(APO)工具中獲取的缺陷坐標(biāo)圖可準(zhǔn)確地傳入和映射至Park NX-HDM。該技術(shù)讓全自動高通量缺陷成像成為可能。

Map of Defect Coordinates from an Optical Inspection Tool

Accurate Sub-Angstrom Surface Roughness Measurement

Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement

業(yè)內(nèi)對于超平媒介和基體的要求越來越高，所以需要滿足設(shè)備體積不斷減小的需求。此外，Park NX-HDM擁有精確的次埃米表面粗糙度測量功能。憑借著業(yè)內(nèi)低的本底噪聲和*的True Non-Contact?技術(shù)，Park NX-HDM毫無疑問是市面上表面粗糙度測量確的原子力顯微鏡。

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography? without piezo creep error

3選配

Automatic Measurement Control

自動化軟件讓NX-HDM的操作不費(fèi)吹灰之力。測量程序針對懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，為您提供多位置分析。自動化軟件會按照測量文件中預(yù)設(shè)的程序進(jìn)行樣品測量。Park的用戶友好型軟件界面讓用戶可靈活執(zhí)行全系統(tǒng)功能。創(chuàng)建新測量文件只需要10分鐘左右的時間，而修改現(xiàn)有的測量文件則需要不到5分鐘的時間。

Park NX-HDM具有：

自動、半自動和手動模式

各自動程序的可編輯測量方法

測量過程實(shí)時監(jiān)測

自動分析所獲取的測量數(shù)據(jù)

Ionization System

離子化系統(tǒng)可有效地消除靜電電荷。由于系統(tǒng)隨時可生產(chǎn)和位置正離子和負(fù)離子之間的理想平衡，便可以穩(wěn)定地離子化帶電物體，且不會污染周邊區(qū)域。它也可以消除樣品處理過程中意外生成的靜電電荷。