-12

-13

-14

-15

-22

-23

-24

-25

量測範圍

Z軸（縱方向）

50mm

X軸（橫方向）

100mm

200mm

精度

粗度檢出器

檢出器測量解析度

0.01μm/1000μm測量範圍~0.0001μm/6.4μm測量範圍

輪廓用檢出器

Z軸指示精度

±(1.8+|2H|/100)μm H:測量高度(mm)

測量解析度

0.025μm/全范圍

驅動部粗度

X軸測量解析度

0.04μm 或者 32,000點（數據取入數3000，000點）

驅動部輪廓

X軸指示精度

±（1.0+1L/100）μm ( L：測量長度mm)

測量解析度

0.016μm

真直度精度

粗度：(0.05+1.0L/1000)μm L:量測長度(mm) 輪廓：1μm/100mm、2μm/200mm

感應方式

X軸（橫方向）

Moire光柵尺

Z軸（縱方向）

粗度檢出器

差動變壓器

輪廓檢出器

雷射光學尺

速度

立柱上下速度(Z軸)

3~10mm/s

測量速度(X軸)

測量速度：0.03~20mm/s,移動速度：大60mm/s

檢出器

粗度

測針、測量力

交換式、0.75mN以下

測針半徑、材質

2μmR,（60°圓錐鑽石材質.）1支標準付屬品

輪廓

測針、測量力

交換式、30mN以下

測針半徑、材質

25μmR,（24°圓錐鑽石材質.）2支標準付屬品

測量方向、方式

拉、壓方向、上下方向、大尋跡角度：77°

移動范圍

驅動部行程

100mm

200mm

立柱上下動行程

226mm

426mm

626mm

226mm

426mm

626mm

平臺

尺寸

600×320mm

1000×450mm

600×320mm

1000×450mm

容許載重量

37kg

28kg

93kg

84kg

31kg

22kg

87kg

78kg

其它

設置尺寸

橫

1250mm

1650mm

1250mm

1650mm

深

800mm

900mm

800mm

900mm

高

1480mm

1680mm

1880mm

1480mm

1680mm

1880mm

質量

225kg

235kg

420kg

430kg

230kg

240kg

425kg

435kg

電源、消耗電力

單相AC100V±10％(要接地)﹑50/60Hz / 670VA