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MPT-6P系列(六維并聯式工作臺)

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更新時間:2020-08-13 13:55:14瀏覽次數:369

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產品簡介

詳細介紹

    
主要參數
型號 MPT-6JN/RL050
運動自由度 X,Y,Z ;θx,θy,θz
行程范圍(μm±20%) 505030
轉角范圍 (mrad±20%) 0.60.61
位移分辨率 (nm) 0.60.61
重復定位精度 (nm) -/50-/50-/30
運動方向上剛度(N/μm±20%) 50
大負載 (Kg) 5
固有頻率 (Hz±20%) 1500
工作溫度范圍 (℃) -20 ~ 80
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IGS
開環工作臺*匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環工作臺*匹配電源型號:PPC-2CR0150



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