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詳細介紹
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主要參數
IGS 型號 MPT-3JN/RL030 運動自由度 Z ,θx,θy 行程范圍(μ m±20%) 30 轉角范圍(mrad±20%) 0.6,0.6 位移分辨率(nm) 3 重復定位精度(nm) -/30 運動方向上剛度(N/μm±20%) 2 大負載(Kg) 0.5 固有頻率(Hz±20%) 500 工作溫度范圍(℃) -20 ～ 80 模型下載
開環工作臺*匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環工作臺*匹配電源型號：PPC-2CR0150
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