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MPT-3P系列(三維并聯式工作臺)

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更新時間:2020-08-13 13:53:21瀏覽次數:330

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產品簡介

詳細介紹

     
主要參數

型號 MPT-3JN/RL030
運動自由度 Z ,θx,θy
行程范圍(μ m±20%) 30
轉角范圍(mrad±20%) 0.6,0.6
位移分辨率(nm) 3
重復定位精度(nm) -/30
運動方向上剛度(N/μm±20%) 2
大負載(Kg) 0.5
固有頻率(Hz±20%) 500
工作溫度范圍(℃) -20 ~ 80
模型下載
IGS
開環工作臺*匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環工作臺*匹配電源型號:PPC-2CR0150

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