主要參數

	運動自由度	位移量 (μm±10%)	組成模塊	尺寸 A(mm)	尺寸 B(mm)	尺寸 C(mm)	模型下載
MPT-3MNL010	X,Y,Z	10×10×10	MPT-1DNL010	60	61	91

IGS MPT-3MNL025 X,Y,Z 25×25×25 MPT-1DNL025 60 81 112 IGS MPT-3MNL050 X,Y,Z 50×50×50 MPT-1DNL050 62 101 132 IGS MPT-3MNL100 X,Y,Z 100×100×100 MPT-1ANL100 60 121 152 IGS MPT-3MNL200 X,Y,Z 200×200×200 MPT-1ANL200 60 151 182 IGS MPT-3MRL010 X,Y,Z 10×10×10 MPT-1DRL010 60 61 91 IGS MPT-3MRL025 X,Y,Z 25×25×25 MPT-1DRL025 60 81 112 IGS MPT-3MRL050 X,Y,Z 50×50×50 MPT-1DRL050 62 101 132 IGS MPT-3MRL100 X,Y,Z 100×100×100 MPT-1ARL100 60 121 152 IGS MPT-3MRL200 X,Y,Z 200×200×200 MPT-1ARL200 60 151 182 IGS
開環工作臺*匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環工作臺*匹配電源型號：PPC-2CR0150