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MPT-3J系列(三維集成式工作臺)

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更新時間:2020-08-13 13:50:10瀏覽次數:304

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產品簡介

詳細介紹

    
主要參數
  MPT-3JN/RL010 MPT-3JN/RL025 MPT-3JN/RL050
運動自由度 Z,θx,θy Z,θx,θy Z,θx,θy
轉角范圍(mrad±10%) ± 0.4 ± 0.8 ± 1.0
位移范圍(μm±10%) 10 25 50
位移分辨率(nm) 0.2 0.4 0.5
重復定位精度(nm) -/2 -/4 -/5
角位移分辨率(μrad) 0.4 0.8 1
角重復定位精度(μrad) -/4 -/8 -/10
大負載(Kg) 0.5 0.5 0.5
固有頻率(Hz) 1000 1000 800
重量(g±5%) 250 400 550
工作電壓(V) 0-150 0-150 0-150
工作溫度范圍(℃) -20~80 -20~80 -20~80
外型尺寸 A(mm) 60 80 100
外型尺寸 B(mm) 52 52 52
外型尺寸 C(mm) 50 50 50
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開環工作臺*匹配電源型號:HPV-3C0150A0500 ;閉環工作臺*匹配電源型號:PPC-2CR0150

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