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詳細介紹
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主要參數
MPT-1UN/RL010 MPT-1UN/RL025 MPT-1UN/RL050 MPT-1UN/RL100 運動自由度 X X X X 行程范圍（μ m±10%） 10 25 50 100 位移分辨率（nm） 1 2.5 5 10 重復定位精度（nm） -/10 -/25 -/50 -/100 大負載（Kg） 1 1 1 1 靜電容量（μ F±10%） 4 6 4 6 運動方向上剛度（N/μm） 90 45 0.5 0.2 工作電壓（V） 0～150 0～150 0～150 0～150 工作溫度范圍 (℃ ) -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 外形尺寸A×B×C（mm） 30×45×45 48×45×45 30×45×45 30×60×45 模型下載 IGS IGS IGS IGS
開環工作臺*匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環工作臺*匹配電源型號：PPC-1CR0150
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