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MPT-1U系列(一維U式物鏡臺)

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更新時間:2020-08-13 13:45:18瀏覽次數:362

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產品簡介

詳細介紹

 

     
主要參數

  MPT-1UN/RL010 MPT-1UN/RL025 MPT-1UN/RL050 MPT-1UN/RL100
運動自由度 X X X X
行程范圍(μ m±10%) 10 25 50 100
位移分辨率(nm) 1 2.5 5 10
重復定位精度(nm) -/10 -/25 -/50 -/100
大負載(Kg) 1 1 1 1
靜電容量(μ F±10%) 4 6 4 6
運動方向上剛度(N/μm 90 45 0.5 0.2
工作電壓(V) 0~150 0~150 0~150 0~150
工作溫度范圍 (℃ ) -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80
外形尺寸A×B×C(mm) 30×45×45 48×45×45 30×45×45 30×60×45
模型下載 IGS IGS IGS IGS

開環工作臺*匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環工作臺*匹配電源型號:PPC-1CR0150

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