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MPT-1L系列(一維L式物鏡臺)

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更新時間：2020-08-13 13:44:05瀏覽次數(shù)：338

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

 

  

     
主要參數(shù)

  MPT-1LN/RL060 MPT-1LN/RL100 MPT-1LN/RL140
運動自由度 Z Z Z
行程范圍（μ m±10%） 60 100 140
位移分辨率（nm） 6 10 14
重復(fù)定位精度（nm） -/60 -/100 -/140
大負(fù)載（Kg） 1 1 1
靜電電容（uF±10%） 90 120 140
運動方向上剛度（N/μm±20%） 0.2 0.2 0.2
工作電壓（V） 0～150 0～150 0～150
工作溫度范圍 (℃ ) -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80
外形尺寸A（mm） 33 43 51
模型下載 IGS IGS IGS
開環(huán)工作臺*匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺*匹配電源型號：PPC-1CR0150

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