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詳細介紹
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主要參數
| MPT-1ZN/RL100 | MPT-1ZN/RL200 | MPT-1ZN/RL350 | |
| 運動自由度 | Z | Z | Z |
| 行程范圍(μm±10%) | 100 | 200 | 350 |
位移分辨率(nm) | 10 | 20 | 35 |
重復定位精度(nm) | -/100 | -/200 | -/350 |
| 大負載(Kg) | 1 | 1 | 1 |
| 重量(g±5%) | 200 | 250 | 300 |
| 工作電壓(V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作溫度范圍(℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×B×C(mm) | 60×35×30 | 80×35×30 | 100×35×30 |
| 運動部分 D×E(mm) | 20×10 | 20×10 | 20×10 |
| 外形尺寸 F×G (mm) | 44×45 | 44×45 | 44×45 |
| 安裝尺寸 H×I(mm) | 50×20 | 70×20 | 90×20 |
| 安裝尺寸 K | M3 | M3 | M3 |
| 安裝尺寸 J | M3 | M3 | M3 |
| 模型下載 | IGS | IGS | IGS |
開環工作臺*匹配電源型號：HPV-1C0150A0500;閉環工作臺*匹配電源型號：PPC-1CR0150
Z軸正負向運動可按照要求定制，默認為Z軸正向運動。
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