芯明天直驅機構式壓電掃描臺P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅機構，內置高性能壓電陶瓷，可以實現Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率，閉環版本定位精度可達納米級，是光學移相器的選擇。

芯明天直驅機構式壓電掃描臺P77壓電掃描臺典型應用

• 顯微成像

• 表面檢測

• 閉環重復定位精度高

• 干涉/計量

• 精密定位

• 移相器 •

光學捕獲

應用案例

大孔徑、大承載、高諧振頻率

P77系列壓電掃描臺采用優異的柔性鉸鏈導向機構設計， 利用有限元分析優化， 剛度可達8 N/ μm，空載諧振頻率 300Hz。

閉環版本內置高精度傳感器，對位移實時監測反饋，可 實現納米級的重復定位精度及線性度。

壓電掃描臺中心106mm的大通光孔，該產品已廣泛應用于激光平面干涉儀等設備。

芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特 點廣泛應用于現代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。

P77壓電掃描臺特性：

Z軸運動

• 大行程20μm

• 大承載5kg

• 通孔直徑：Ø106mm

技術參數：