芯明天放大機構式壓電掃描臺?

P78系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm，放大機構內置高性能壓電陶瓷，可以實現 Z軸210μm或300μm的位移行程，優異的柔性鉸鏈導向機構具有超高的定位精度，適用于需要大行程精密定位的應用領域。

P78壓電掃描臺特性：

• Z軸運動 • 開環閉環可選 • 大行程300μm • 閉環重復定位精度高

芯明天放大機構式壓電掃描臺典型應用

• 顯微成像 • 表面檢測

• 干涉/計量 • 精密定位

• 生物技術 • 微操作

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，可以實現 Z軸210μm或300μm的位移行程。優異的柔性鉸鏈導向機構 采用有限元分析進行優化實現納米級的分辨率、毫秒級的響應 時間。

P78系列壓電掃描臺可選擇配置閉環傳感器，對位移實現 實時監測并反饋給閉環壓電控制器，實現納米級精密控制。掃 描臺臺體中心通孔尺寸64×64mm，適用于干涉、掃描、表面 檢測等應用。

閉環重復定位精度高

P78. Z壓電掃描臺滿幅值300μm的閉環重復定位精度為 0.05%。

P78壓電掃描臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。