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P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡

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更新時(shí)間:2020-08-10 20:11:09瀏覽次數(shù):339

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級(jí)),非常適于動(dòng)態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及 振動(dòng)消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。

詳細(xì)介紹

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級(jí)),非常適于動(dòng)態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及 振動(dòng)消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。

特性:

• θx一維偏轉(zhuǎn) • 大偏轉(zhuǎn)角度4mrad • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 • 閉環(huán)定位精度高

典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 隔行掃描、抖動(dòng)

• 激光掃描 • 光束偏轉(zhuǎn)

• 光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān)

結(jié)構(gòu)原理

小體積、高動(dòng)態(tài)、開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選平臺(tái)由一個(gè)鉸鏈支撐,并且由一個(gè)線性壓電促動(dòng)器推動(dòng)。鉸 鏈確定了軸心點(diǎn),兼起到給壓電促動(dòng)器施加預(yù)緊力的作用。單個(gè) 鉸鏈單個(gè)促動(dòng)器設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小巧、性價(jià)比高 等。如果角度偏轉(zhuǎn)時(shí)工作環(huán)境溫度變化范圍較大,*使用差分 驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

壓電驅(qū)動(dòng)俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(tái)(快反鏡/傾斜鏡,光束偏轉(zhuǎn),相移 器)提供比音圈電機(jī)類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬,θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 為4mrad,偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)0.1μrad,開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選,閉環(huán)傳感器 包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器,可獲得更高的定位精度。

超小體積設(shè)計(jì),具有非常快的響應(yīng)速度,可帶載Ø15mm的 鏡片實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

P22.U3S P22.U3K

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

θx

標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

2.5

mrad±20%

大行程范圍(-20~150V)

4

mrad±20%

傳感器類型

SGS/-

閉/開(kāi)環(huán)分辨率

0.3/0.1

μrad

閉環(huán)線性度

0.2/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.15/-

%F.S.

空載諧振頻率

3

kHz±20%

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

3/0.8

ms±20%

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

100

Hz±20%

*行程

40

靜電容量

1.8

μF±20%

材質(zhì)

重量

80

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。

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