P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸的高速精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及Z軸直線升降運(yùn)動(dòng)，直線運(yùn)動(dòng)的分辨率可達(dá)亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧 度，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級(jí)。P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，可實(shí)現(xiàn)大6mrad偏轉(zhuǎn)，Z軸40μm的直線運(yùn)動(dòng)。

特性：

• θx, θy偏轉(zhuǎn)，Z軸升降 • 大偏轉(zhuǎn)范圍6mrad • 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩(wěn)定性高

工作原理

P32偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)而成的，由三支壓 電陶瓷驅(qū)動(dòng)，以120°角平分放置，采用坐標(biāo)變換，運(yùn)動(dòng)可以分不 同機(jī)構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)除了可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的傾斜，也可實(shí) 現(xiàn)平臺(tái)Z向的直線移動(dòng)，可以用于校正光學(xué)路徑長(zhǎng)度。其中， A、B、C表示測(cè)量的3點(diǎn)處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計(jì) 算公式分別如下，

典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 光學(xué)捕獲

• 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn) • 激光調(diào)諧

• 光過(guò)濾/光開(kāi)關(guān) • 光學(xué)/光束穩(wěn)定

高分辨率、高穩(wěn)定性及動(dòng)態(tài)性

P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積緊湊，內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電 促動(dòng)器，集成在復(fù)雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電 促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷，比傳統(tǒng)的壓電促動(dòng)器提供更好的性 能及可靠性。

P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)的壓電陶瓷直驅(qū)式三腳架 結(jié)構(gòu)，數(shù)十億次的運(yùn)動(dòng)周期操作而*或性能下降，非常適合 工業(yè)應(yīng)用。

三腳架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在較大的溫度范圍內(nèi)提供優(yōu)化的角度穩(wěn)定 性。這種設(shè)計(jì)具有體積更小巧、兩軸具有相同的大小及動(dòng)態(tài)性能、 更快的響應(yīng)速度及更好的線性度等優(yōu)勢(shì)，也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。

負(fù)載頻率曲線 *控制器

技術(shù)參數(shù)

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。