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P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡

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更新時(shí)間:2020-08-10 19:52:53瀏覽次數(shù):784

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸的高速精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及Z軸直線升降運(yùn)動(dòng),直線運(yùn)動(dòng)的分辨率可達(dá)亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧 度,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級(jí)。P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可實(shí)現(xiàn)大6mrad偏轉(zhuǎn),Z軸40μm的直線運(yùn)動(dòng)。

詳細(xì)介紹

P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸的高速精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及Z軸直線升降運(yùn)動(dòng),直線運(yùn)動(dòng)的分辨率可達(dá)亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧 度,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級(jí)。P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可實(shí)現(xiàn)大6mrad偏轉(zhuǎn),Z軸40μm的直線運(yùn)動(dòng)。

特性:

• θx, θy偏轉(zhuǎn),Z軸升降 • 大偏轉(zhuǎn)范圍6mrad • 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩(wěn)定性高

工作原理

P32偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)而成的,由三支壓 電陶瓷驅(qū)動(dòng),以120°角平分放置,采用坐標(biāo)變換,運(yùn)動(dòng)可以分不 同機(jī)構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)除了可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的傾斜,也可實(shí) 現(xiàn)平臺(tái)Z向的直線移動(dòng),可以用于校正光學(xué)路徑長(zhǎng)度。其中, A、B、C表示測(cè)量的3點(diǎn)處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計(jì) 算公式分別如下,

典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 光學(xué)捕獲

• 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn) • 激光調(diào)諧

• 光過(guò)濾/光開(kāi)關(guān) • 光學(xué)/光束穩(wěn)定

高分辨率、高穩(wěn)定性及動(dòng)態(tài)性

P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積緊湊,內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電 促動(dòng)器,集成在復(fù)雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電 促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷,比傳統(tǒng)的壓電促動(dòng)器提供更好的性 能及可靠性。

P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)的壓電陶瓷直驅(qū)式三腳架 結(jié)構(gòu),數(shù)十億次的運(yùn)動(dòng)周期操作而*或性能下降,非常適合 工業(yè)應(yīng)用。

三腳架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在較大的溫度范圍內(nèi)提供優(yōu)化的角度穩(wěn)定 性。這種設(shè)計(jì)具有體積更小巧、兩軸具有相同的大小及動(dòng)態(tài)性能、 更快的響應(yīng)速度及更好的線性度等優(yōu)勢(shì),也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。

負(fù)載頻率曲線 *控制器

E01

E00

E70

頁(yè)碼 157

頁(yè)碼 157

頁(yè)碼 167

3路輸出(1路恒壓)

3路輸出(1路恒壓)

3路輸出(1路恒壓)

模擬、上位機(jī)通信、旋鈕

模擬、上位機(jī)通信、旋鈕

模擬與數(shù)字控制

開(kāi)環(huán)閉環(huán)

開(kāi)環(huán)閉環(huán)

開(kāi)環(huán)閉環(huán)

平均功率7W

平均功率35W/通道

平均功率5W/通道

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

P32.ZT4S P32.ZT4K

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

θx, θy, Z

θx, θy標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度(0~120V)

5

mrad±20%

Z向標(biāo)稱行程(0~120V)

30

μm±20%

θx, θy大偏轉(zhuǎn)角度(-20~150V)

6

mrad±20%

Z向大行程(-20~150V)

40

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

閉/開(kāi)環(huán)θx, θy偏轉(zhuǎn)分辨率

0.1/0.05

μrad

閉/開(kāi)環(huán)Z向直線分辨率

1/0.5

nm

閉環(huán)線性度

0.05/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.02/-

%F.S.

空載諧振頻率(θx, θy)

2

kHz±20%

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

5/2

ms±20%

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

500

Hz±20%

*行程

40

靜電容量

3.6/軸

μF±20%

材質(zhì)

重量

350

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。

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