XP-780系列大行程壓電掃描臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實現(xiàn)二維、三維運動。采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實現(xiàn)X軸大220μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。

大行程、高精度、大負載

XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn)zui大220μm的位移行程，無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向機構(gòu)使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實現(xiàn)納米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。
優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常高的剛度，承載能力大，可帶載5kg的樣品作精密定位

1~3維掃描臺

XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格型號，可以自由疊加組合。

XP-780系列壓電掃描臺典型應(yīng)用

• SPM掃描顯微鏡 • 干涉
• 掩模/晶圓定位 • 計量
• 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析

特性

• zui大位移220μm

• zui大承載5kg

• 通孔尺寸：25×25mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開/閉環(huán)可選

XP-780系列壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：

型號	尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	XP-780.XS XP-780.XK	單位
運動自由度		X
標稱行程范圍（0~120V）		160	μm±20%
zui大行程范圍（-20~150V）		220	μm±20%
傳感器類型		SGS/-
通孔尺寸		25×25	mm
閉/開環(huán)分辨率		10/5	nm
閉環(huán)線性度		0.1/-	%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度		0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動		<50	µrad
推/拉力		80/40	N
運動方向剛度		0.5	N/μm±20%
空載諧振頻率		200	Hz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時間		20/5	ms±20%
閉環(huán)空載工作頻率	10%行程	50	Hz±20%
	*行程	15
zui大承載		5	kg
靜電容量		11	μF±20%
材質(zhì)		鋁
重量		240	g±5%