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P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡

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更新時間:2020-08-10 19:33:10瀏覽次數:508

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產品簡介

P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡體積小巧、結構緊湊,可實現大6mrad偏轉,Z軸40μm的直線運動。提供兩軸的高速精密偏轉運動及Z軸直線升降運動,直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧 度,響應時間可達毫秒量級。

詳細介紹

P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡體積小巧、結構緊湊,可實現大6mrad偏轉,Z軸40μm的直線運動。提供兩軸的高速精密偏轉運動及Z軸直線升降運動,直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧 度,響應時間可達毫秒量級。

工作原理

P32偏轉鏡是基于3個壓電陶瓷機構設計而成的,由三支壓 電陶瓷驅動,以120°角平分放置,采用坐標變換,運動可以分不 同機構之間控制。這種結構設計除了可實現平臺的傾斜,也可實 現平臺Z向的直線移動,可以用于校正光學路徑長度。其中, A、B、C表示測量的3點處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡便計 算公式分別如下,

典型應用

• 圖像處理與穩定 • 光學捕獲

• 激光掃描與光束偏轉 • 激光調諧

• 光過濾/光開關 • 光學/光束穩定

負載頻率曲線 *控制器

E01

E00

E70

頁碼 157

頁碼 157

頁碼 167

3路輸出(1路恒壓)

3路輸出(1路恒壓)

3路輸出(1路恒壓)

模擬、上位機通信、旋鈕

模擬、上位機通信、旋鈕

模擬與數字控制

開環閉環

開環閉環

開環閉環

平均功率7W

平均功率35W/通道

平均功率5W/通道

高分辨率、高穩定性及動態性

P32壓電偏轉鏡體積緊湊,內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電 促動器,集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統。壓電 促動器是疊堆共燒型壓電陶瓷,比傳統的壓電促動器提供更好的性 能及可靠性。

P32壓電偏轉鏡采用基于平行運動學的壓電陶瓷直驅式三腳架 結構,數十億次的運動周期操作而*或性能下降,非常適合 工業應用。

三腳架結構設計在較大的溫度范圍內提供優化的角度穩定 性。這種設計具有體積更小巧、兩軸具有相同的大小及動態性能、 更快的響應速度及更好的線性度等優勢,也防止了偏振旋轉。

特性:

• θx, θy偏轉,Z軸升降 • 大偏轉范圍6mrad • 毫秒級響應時間

• 閉環定位精度高

• 溫度穩定性高

P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡技術參數

型號

尾綴S-閉環 尾綴K-開環

P32.ZT4S P32.ZT4K

單位

運動自由度

θx, θy, Z

θx, θy標稱偏轉角度(0~120V)

5

mrad±20%

Z向標稱行程(0~120V)

30

μm±20%

θx, θy大偏轉角度(-20~150V)

6

mrad±20%

Z向大行程(-20~150V)

40

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

閉/開環θx, θy偏轉分辨率

0.1/0.05

μrad

閉/開環Z向直線分辨率

1/0.5

nm

閉環線性度

0.05/-

%F.S.

閉環重復定位精度

0.02/-

%F.S.

空載諧振頻率(θx, θy)

2

kHz±20%

閉/開環空載階躍時間

5/2

ms±20%

閉環空載 工作頻率

10%行程

500

Hz±20%

*行程

40

靜電容量

3.6/軸

μF±20%

材質

重量

350

g±5%

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

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