P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。

特性：

• θx, θy偏擺運動 • 開環/閉環可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄

應用實例

P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用 于軍事激光武器等領域。

典型應用

• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲

• 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統

• 微操作 • 掩模與晶片位置調整

閉環傳感精度高

P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限 元分析優化，使角度偏移達到小，無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅動實現大偏轉范圍±1.1mrad，分 辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環傳感器實現0.1%F.S. 的重復定位精度。

臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為 80×80mm，P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、 計量、定位等應用的選擇。

負載大鏡片

P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透 射光的應用，負載后仍可高動態高精度的掃描。

*控制器

P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。