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哈爾濱芯明天科技有限公司>>壓電平移臺>>P83.X 一維X向 28μmP83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺

P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 P83.X 一維X向 28μm
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  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時間:2020-08-10 19:10:19瀏覽次數(shù):323

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產(chǎn)品簡介

P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺 P83為標(biāo)準(zhǔn)測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合,通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的移動,再通過控制驅(qū)動電壓,使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。

詳細(xì)介紹

宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺,宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是通過宏動調(diào)節(jié)測微頭與壓電微動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)完成大范圍精密定位需求。

配套宏動臺可以組成1-3維大行程位移臺

通過測微頭與壓電微調(diào)機(jī)構(gòu)相結(jié)合的方式實現(xiàn)宏微復(fù)合機(jī)構(gòu),宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)可以與宏動平臺配合使用,組成大行程高精度壓電平移臺。

供貨周期

2~3周發(fā)貨

P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺參數(shù)介紹

型號

P83.X25S

P83.X25K

單位

運動自由度

X

X

行程范圍

13mm+28µm

13mm+28µm

粗調(diào)+精調(diào)

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

500

500

g±5%

殼體材料

外形尺寸(長×寬×高)

114×80×23

114×80×23

mm×mm×mm

手動調(diào)節(jié)部分-千分尺

粗調(diào)行程范圍

13

13

mm

粗調(diào)分辨率(千分尺)

10

10

µm

導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌

驅(qū)動方式

螺紋副(分厘卡)

螺紋副(分厘卡)

千分尺靈敏度

<2

<2

µm

臺面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺讀數(shù)

10

10

(微米/格)

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動

精調(diào)行程范圍

0~120 V, Nominal

20

20

µm±20%

-20~150 V, Max

28

28

µm±20%

傳感器類型

SGS

-

步進(jìn)/分辨率

1.5

0.5

nm, typ.

閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動)

0.2

-

%F.S.

重復(fù)定位精度

0.1

-

%F.S.

運動方向推力

20

20

N

剛度

2

2

N/µm±20%

承載能力(Z向)*

1000

1000

g

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

µF±20%

重量(含載物平臺)

400

400

g±5%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO

*若將此宏微復(fù)合臺作為Z向移動平臺使用,它的承載能力將減小,約600g。

**可定制低溫版本及高真空版本。
注:以上所提參數(shù)與測試環(huán)境及測試設(shè)備有關(guān)。參數(shù)更新不予通知,具體請與銷售工程師確認(rèn)。

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