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詳細介紹
P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，偏轉鏡具有較好的運動精度和高穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡提供兩軸的高速精密偏轉運動及Z軸直線升降運動，直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度，響應時間可達毫秒量級。P32系列壓電偏轉鏡體積小巧、結構緊湊，可實現6mrad偏轉，Z軸37.5μm的直線運動。
特性 P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm
• θx,θy二維偏轉及Z向升降運動，偏轉角度25mrad，直線位移37.5μm • 閉環定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時間
高分辨率、高穩定性及動態性 | 結構原理 | |
P32壓電偏轉鏡體積緊湊，內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電促動器，集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統。壓電促動器是疊堆共燒型壓電陶瓷，比傳統的壓電促動器提供好的性能及可靠性。 P32壓電偏轉鏡采用基于平行運動學的壓電陶瓷直驅式三腳架結構，數十億次的運動周期操作而*或性能下降，非常適合工業應用。 三腳架結構設計在較大的溫度范圍內提供優化的角度穩定性。這種設計具有體積小巧、兩軸具有相同的大小及動態性能、快的響應速度及好的線性度等優勢，也防止了偏振旋轉。 | P32偏轉鏡是基于3個壓電陶瓷機構設計而成的，由三支壓電陶瓷驅動，以120°角平分放置，采用坐標變換，運動可以分不同機構之間控制。這種結構設計除了可實現平臺的傾斜，也可實現平臺Z向的直線移動，可以用于校正光學路徑長度。其中， A、B、C表示測量的3點處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡便計算公式分別如下，
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驅動控制
P32壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，與Z向升降運動配合，再通過控制電壓的大小，對一定的光路距離，可進行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。
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