開環(huán)與閉環(huán)版本可選

傳感器類型

頻率負(fù)載曲線

P66系列壓電納米定位臺(tái)可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號(hào)。

傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)滿行程0.05%的線性度與重復(fù)度。

應(yīng)用

• 光纖端面檢測(cè) • 光纖對(duì)接 • 硬盤測(cè)試 • 電化學(xué)加工 • 3D錫膏檢測(cè) •干涉法/ 顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測(cè)試 •微加工/精密控制