美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz

　　新型的ZYGO DynaFiz激光干涉儀是特別設計為在有空氣湍流和極點振動的環境中進行精確的光學計量的優化的光學儀器。DynaFiz 光學系統的長壽命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相機的高速快門能夠“凝結"振動。這種動態才能提供了 在惡劣的環境中，傳統的時刻相移技能不可能完成的可靠的測量。

　　測長機系統：

　　◆測量功用：精密測量各種反射面和光學體系的表面面形、精密測量光學體系的傳輸波前

　　◆測量技能：DynaPhase動態測量技能；可選形式：機械相移測量（PSI）

　　◆校準體系：

　　◆動態形式：DyanaPhase 對準向導校準；

　　◆移相形式：快速條紋采樣體系(QFAS) (雙光點定坐落十字線)

　　◆對準視場范圍FOV ：±3°

　　◆測量光束直徑： 4″（102mm）

　　◆光學中心線 ：4.25″（108mm）

　　◆激光光源：大功率穩定氦-氖激光，IIIa 級

　　◆波長： 633 nm

　　◆頻率穩定度： < 0.0001 nm

　　◆相干長度 ：＞100m

　　◆成像分辨率：1200 x 1200 像素

　　◆幀速：50Hz（600 x 600 像素：82Hz）

　　◆數據形式：10位

　　◆擴大：電控塔臺切換，1X,1.7X,3X

　　◆偏振：挨近圓偏振（1.2：1或者更好）

　　◆光曈調焦范圍： ±2m

　　◆無線遙控：聚焦，擴大，校準操控；遙控范圍：15m

　　◆計算機和軟件：高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO MetroproTM X軟件

　　◆安裝結構：水平臥式或垂直立式

　　◆附件：參考ZYGO 激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463

　　◆尺度(長x寬x高) ：60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；帶移相器長度增加9cm（3.6in.）

　　◆重量 ：≤80lb（36 Kg）；帶移相器增加10lb（5kg）

　　◆電源 ：100-240VAC，50/60Hz

　　◆保修期 ：2年

　　技能參數：

　　◆RMS重復性：< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

　　◆RMS波前重復性：

　　動態形式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)

　　移相形式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)

　　◆像素峰值偏差：

　　動態形式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)

　　移相形式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

　　◆條紋分辨率：

　　動態形式：250 條紋（每種擴大倍率）

　　移相形式：500條紋（每種擴大倍率）

　　◆曝光時刻 ：12usec（zui小）

　　◆數據采樣速度： ≤82幅數據圖像/秒

　　◆LivePhaseTM ：Zernike擬合剖析的實時相位信息

　　◆相位影像 記錄≤82幅/秒過程中的信息，可存儲為AVI格式文件和保留原始數據文件

　　◆外部影像：觸發器 TTL信號