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3D表面輪廓儀7300

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更新時間:2020-08-07 16:45:03瀏覽次數:397

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產品簡介

詳細介紹

  美國ZYGO 3D外表輪廓儀NewView 7300

  NewView 7300外表輪廓儀以其*的精細度和準確度定性和定量地反映出樣品的外表粗糙度、臺階高度、關鍵部位的尺寸以及樣品的描摹。丈量進程精細,高速,非接觸,且樣品無需特殊處理。在高速掃描狀態下縱向丈量規模可以從小于1nm至20000μm,基于ZYGO 的掃描技術,無論怎樣的外表描摹,放大倍數以及臺階特性,NewView 7300只需一次掃描即可到達0.1nm的縱向分辨率,并取得所有的被測參數,我們還有三坐標檢測儀等儀器,請繼續關注。

  體系參數:

  ◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀

  ◆掃描裝置: 閉環反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器,

  ◆視場擴大倍率:高質量分立擴大倍率鏡頭:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

  ◆成像擴大: 電動3 位體系成像擴大

  ◆視場:0.03-14mm,跟物鏡和擴大倍率有關,運用圖像拼接技能可以得到更大規模

  ◆光源: 均勻成像,高效率,特別設計長壽命白光LED物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具

  ◆控制 :濾光板托架,視場光闌(輔助聚集)

  ◆丈量陣列:標配640×480 像素;640×480,320×240,160×120 像素,可選更高分辨率992×999

  ◆樣件調查: 液晶顯示屏實時調查

  ◆精細聚集 :電控手動和主動聚集

  ◆Z 軸驅動:直流無刷微步進電機驅動,200mm 行程,0.1μm 精度

  ◆尺寸:157×132×89cm ,NewView:81×58×41cm ,防振臺:76X61X61,工作臺:85X132X89cm

  ◆重量 :體系重量:約430Kg

  ◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

  ◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機

  ◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件

  ◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動6 位塔臺;電控 6 位塔臺;

  ◆樣品臺:手動,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),電動,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)電動, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta)和XY 平移(±76mm) 三種可選

  ◆縱向掃描:150μm,拓展掃描形式可到20mm,

  ◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.36~9.5μm,與所選物鏡有關,

  ◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描形式有關

  ◆zui大數據點: 規范307200;可選984064;

  ◆RMS 重復性 <0.01 nm, RMSσ

  ◆臺階丈量 :準確度 ≤ 0.75% ;重復性≤ 0.1% @ 1σ

  ◆測樣品特性:各種資料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射

  ◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);反射率: 1-*


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