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適用于大尺寸樣品的 Axio Imager Vario

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更新時間:2020-08-07 18:29:09瀏覽次數:193

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產品簡介

適用于大尺寸樣品的 Axio Imager Vario 檢測大尺寸樣品 擁有自動聚焦系統且滿足超凈室等級要求分析從.小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會對樣品造成破壞。借助.大 300 mm 的橫向移動距離和超高 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至更佳聚焦位置。

詳細介紹

特點:
 
  • 兩種手動和一種電動機柱(配有符合工業標準的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡.大 300 mm 橫向與縱向移動距離和超高 254 mm 垂直深度的優勢。
  • Axio Imager Vario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。
  • 借助自動聚焦硬件,您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
  • Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
  • Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。
 
超凈室:
 
半導體制造與晶圓檢測需要在超凈室內完成。根據 DIN EN ISO 14644-1 標準,以每立方米的顆粒數量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應用中,Axio Imager Vario 已通過此標準認證,并滿足超凈室等級 5 的要求。超凈室 ISO 5 等級相當于原 FED STD 209E(1992)標準的 100 級。超凈室套件中包含一個 7 孔物鏡轉盤、一個顆粒保護罩及一個防噴嚏保護罩。
 
自動聚焦硬件:
 
集成有 Auto Focus 自動聚焦硬件系統的 Axio Imager Vario 能夠在高達 12000 µm 的焦點捕獲范圍內實現快速精準的聚焦。在工業生產和研究的檢測應用中,您需要一套聚焦精度能達到物鏡景深 0.3 倍的高精度聚焦系統。該自動聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應用。

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