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要想了解手動測量儀器的測量精度，就要知道影像測量儀誤差的來源。 在影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量,測量時先對焦,后對準 ,在讀數(計數) , 最后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統,對焦對準依靠光學影像系統,還有一一個直 接影響測量效果和精度的照明光源,因為, 于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外,環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析,可以歸納-下幾個方面的誤差來源。
1 )光柵尺計數的誤差;
2)工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差;
3)工作臺兩測量軸垂直度帶的誤差;
4)鏡頭光軸與工作臺不垂直帶的誤差;
5)測量環境溫度變化帶來的誤差;
6)光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。
在這幾種因素中,前四項誤差，是硬件誤差 , 在影像測量儀制造過程中已經形成并固定下來,一般無法改變 ,溫度影響帶來的誤差, 必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。-項則常被忽視,而在實際測量中,當光源照明條件改變時,直接影響被測工件的照明效果和影像質量，要是因為影像測量儀的圖像是通過CCD接收,盡管CCD具有自動調節增益的功能，但當亮度過大時即失去調節功能,導致被測工件影像在縮小,當亮度過低時,工件影像反而變大。
這種影響,對于測量具有重復圖形結構之間的間距時,只要整個測量過程中照明條件保持不變, 其影響可以忽略,因為每個重復圖形結構都同時在變大或者變小,間距的測量計算直接消除了影像變形的影響,如測量玻璃尺、網格板刻線間距;除了這種特殊情形外,如測量圓的直徑、工件的長度和寬度,都將帶來明顯的誤差。