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由于壓縮空氣對三坐標測量機的正常工作起著非常重要的作用，所以對氣路的維修和保養非常重要。其中有以下主要項目：

1. 每天使用前檢查管道和過濾器，放出過濾器內及空壓機或儲氣罐的水和油。

2. 一般3個月要清洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯。空氣質量較差的周期要縮短。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞，時間稍長就會使三坐標測量機實際工作氣壓降低，影響三坐標測量機正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。建議至少每年更換一次濾芯。

3.定期檢查過濾減壓閥 ，油霧器的標準樹脂杯是否有裂紋及其它缺陷，是否有被污染。

4.過濾器濾芯，油霧器的樹脂杯清洗時請采用中性洗滌劑進行，在使用蒸汽進行清洗時，請不要直接噴在上面（使用溫度為60度）。

5.在進行維護保養前，務必切斷電源，停止供氣。