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GSL-1100系列.OTF系列三溫(1200-1700℃) 管式爐(三溫區)

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更新時間:2020-08-06 04:43:38瀏覽次數:773

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產品簡介

詳細介紹

GSL-1100X-8.5-III 1100℃三溫區8.5"管式爐

GSL-1100X-III 是一款CE認證的三溫區大尺寸系列的管式爐,其石英管管徑為 8.5" O.D,。在加熱管一端安裝有一對高真空不銹鋼法蘭,法蘭上安裝有機械壓力表和閥門,三個溫區都是采用30段可編程PID數字溫度控制器進行溫度控制,控溫精度 ± 1 oC,它被廣泛的用于材料或化學實驗室材料的燒結或是退火(在真空或是惰性氣體的保護環境下),它是一款理想的退火,擴散,和燒結設備

技術參數

石英管尺寸

216 O.D x 206 I.D x 1300mm Length (8.5" O.D - 8.1" I.D x 51" L) ,

儀器中包含一根石英管,

內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

殼體結構

雙層殼體結構,并帶有冷卻風扇. 使得殼體的表面溫度 < 70℃.

耐火材料采用高純氧化鋁,可以減少熱量的損失.

加熱元件: NiCrAl 電阻絲

為了防止熱量以熱輻射的形式散失,儀器配有兩套氧化鋁管堵(在加熱前必須把管堵放入爐管內.

為了獲得更高的潔凈度和真空度,可以選擇石英管堵(可選配件)

加熱區

總加熱區長度: 900 mm (36")

三個溫區: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

恒溫區長度: 500 mm (三個溫區可設置相同的溫度)

工作溫度

高工作溫度 1100℃

正常工作溫度: 400~1100℃

大加熱/冷卻速率: 20℃/min

控溫系統

三個PID自動控制器,可設置30段升降溫程序

熱電偶:3根K型 在每個溫區

控溫精度: ± 1℃

真空密封法蘭

一副不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈式),密封法蘭采用硅膠密封圈進行密封, 通過機械泵,真空度可以達到10^-2 torr

左側: 真空計, 不銹鋼針閥 和1/4" 軟管接頭.

右邊: KF25 接口,方便連接KF25型波紋管和真空泵

額定電壓

單相, 220V AC, 50/60 Hz

包括AWG 8#電源線 (without plug)

功率

大10KW (需50A的空氣開關 )

外形尺寸

1200 L x 660 W x 750 H mm (48" L x 26"W x 30" H)

凈重

200kg

運輸尺寸

70" x 70" x 65"

運輸重量

500Lbs (227kg)

OTF-1200X-III-D5-4 1200℃雙管三溫區管式爐

OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區的雙管爐,其高工作溫度可以達到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質,如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。

產品特點

·石英爐管: 外管直徑為 130 mm(5"),內管直徑為101 mm(4"),使用時把金屬箔附在內管上

·特殊的真空法蘭可以使反應氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內管通過,對基底進行快速冷卻

·高工作溫度: 1200℃

技術參數

爐體結構

三個加熱溫區總長: 900mm(36")

溫區 1: 229mm (9")

溫區2: 457mm (18.0")

溫區3: 229 mm (9")

恒溫區:625mm(三個溫區設置同樣的溫度)

恒溫精度: ± 1℃

三個溫區采用PID30段程序化獨立控制

控溫精度: ± 1° C

高工作溫度:1200℃

連續使用溫度:1100℃

*升溫速率: <= 20℃ /min

爐膛

內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長爐膛的使用壽命

電源

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz (需要40A 的空氣開關 ).

大功率:7 KW

爐管

爐管為高純石英管

外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm

內管尺寸: 102mm O.D. x 94 mm I.D. x 1540 mm

爐體尺寸

1030 x 430 x 580 mm

凈重

90 kg

OTF-1500X-III 1500℃三溫區開啟式管式爐

OTF-1500X-III是一款三溫區開啟式管式爐,三個溫區分別用三個獨立的溫控系統控制,每個溫區都可以設置30段升降溫程序,并帶有斷偶和過熱保護,控溫精度高達± 1℃,儀器高溫度可以達到1500℃。此高溫管式爐特別適合于在氣氛保護或真空的環境下對樣品進行退火和燒結,另外此款管式爐還可做成1600度。

技術參數

大功率

6.6K W

工作電壓

AC220V 單相 50/60Hz ( 需要50 A 的空氣開關)

高工作溫度

1500

連續工作溫度

1400

建議升溫速率

5/min.

爐管

材質:剛玉管

尺寸: 80 O.D x 71 I.D x 1200mm L

加熱區長度

共三個溫區,每個溫區長度為200mm

總溫區長度:600mm

恒溫區長度:350 ± 2oC.(三個溫區設置同樣的溫度)

外型尺寸

860 mmL × 380 mmW × 680 mmH

溫控系統

三個溫區分別用三個獨立的溫控系統來控制

采用PID方式調節溫度,每個溫區可以設置30段升降溫程序

帶有過熱和斷偶保護

控溫精度:± 1 oC

為了將控溫程序和溫度曲線導入到電腦中,可以選購PC控溫軟件

真空度

10E-2 torr(用機械泵)

10-5 tor(用分子泵)

加熱元件

12 pcs 1500oC grade Silicon carbide rod

儀器中安裝有24根硅碳棒 (直徑 14 mm. x 熱端長度150mm x 總長度350mm)

3 pcs S type thermal couple built in

3個S型熱電偶

凈重

110 Kg

外形尺寸

860 mmL × 380 mmW × 680 mmH

GSL-1700X-60-III 1700℃三溫區管式爐

GSL-1700X-60-III是一款CE認證的三溫區高溫管式爐,其爐管外徑為 60mm ,每個加熱區的長度為12" ,三個數字溫度控制器可獨立控制溫度,并可設置30段升降溫程序,溫區1(加熱區中心)采用Super-800級的硅鉬棒進行加熱,當溫度達到 1700℃時,另外兩個溫區用硅碳棒進行加熱,當溫度在1400℃時,此款管式爐可以形成一個溫度梯度,調整三個溫區的溫度,在熱梯度下制備功能材料,他是一款理想的設備,同時也適用于CVD法制作薄膜外延生長。

技術參數

殼體結構

采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使得殼體的表面溫度小于60度

爐膛的保溫材料采用高純氧化鋁,環保節能,可以減少熱量的損失

內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

功率

9 KW (需要75A空氣開關 )

電壓

AC 220-240 單相, 50/60 Hz

加熱區長度

三個溫區:總溫區長度 25" (630 mm) heating zone (included two refractory separators)

溫區1: 7.5" (190 mm)由4根U型硅碳棒SiC 進行加熱

工作溫度 800 - 1400℃

升溫速率: 20℃/min

溫區 2: 10" (250 mm) 由 根6 U型硅鉬棒MoSi2 進行加熱

工作溫度 800 - 1700℃

大升溫速率: 10℃/min

溫區3: 7.5" (190 mm) 由 4 根 U 型硅碳棒SiC進行加熱

工作溫度 800 - 1400℃

大升溫速率: 20℃/min

爐管尺寸和法蘭

99.8%高純氧化鋁管

2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Lengt

包括60mm不銹鋼真空密封法蘭,儀表和針閥

Two porous ceramic blocks are included for protecting flange from heating radiation

法蘭連接口

為了得到較好的真空狀態出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接

為了保證進氣的氣密性,進氣端法蘭上可以選定Φ6.35的不銹鋼卡套接頭,與聚四氟乙烯軟管相連接,VCR Face Seal Fitting

可選;本公司生產的鉸鏈式法蘭和進口的防腐型數字式真空計

溫控系統

三個數字溫度控制器采用PID方式控制,并且控溫儀表中可以設置30段升降溫程序,每個溫區可以獨立控溫

帶有過熱和斷偶保護功能

控溫精度 ± 1oC

熱電偶: B type (one), S type (two)

外形尺寸

863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)

凈重

150 kg

GSL-1700X-60-III-F3LV 帶3路浮子混氣三溫區1700℃管式爐

GSL-1700X-60-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區管式爐CVD系統,其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統為3路浮子混氣系統。此高溫爐燒結溫度可達1700℃,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

技術參數

爐體結構

采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使得殼體表面溫度小于55℃

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,減少能量損失

內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長爐膛的使用壽命

三個溫區分別被三個獨立的溫控系統控制

功率

9 KW(需要75A的空氣開關 )

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

加熱區

總加熱區長度:25" (630 mm)

加熱溫區1長度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通過4根硅碳棒加熱,高溫度可達1400℃

升溫速率: 10℃/min

加熱溫區2長度:10" (250 mm)1700℃ 通6根硅鉬棒加熱,高溫度可達1700℃

快升溫速率:5℃/min

加熱溫區3長度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通過4根硅碳棒加熱,高溫度可達1400℃

大升溫速率:10℃/min

爐管和法蘭尺寸

99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube

尺寸:2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length

一對60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表

儀器中包括4個氧化鋁管堵

溫控系統

3個溫控系統,都是PID30段程序化控溫

控溫精確度

±1℃

低真空系統

采用TRP-12的雙旋機械泵,其針對于本公司的管式爐,真空度可達到 10-2 Torr.

一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統上,其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式爐上的法蘭相連接

數字式真空顯示計

CE認證的皮拉尼式數顯真空計,帶有LED數字式顯示,其量程為10-4 to 1000 Torr.

三路浮子混氣系統

3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。

*路氣體流量范圍為10-100 cc/min.

第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.

第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.

一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接

移動架上安裝有4個不銹鋼針閥

尺寸

高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)

GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三溫區帶滑軌8.5"管式爐

GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE認證的三溫區滑軌爐,其爐管外徑為 8.5" O.D的滑軌真空管式爐,multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing,它可以在大6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 它高溫度 1100℃,采用30段可編程PID數字溫度控制器,可以設置30段升降溫程序,控溫精度±1℃

技術參數

殼體結構

雙層殼體,循環風冷.

爐體表面溫度< 70 oC

采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環保節能

滑軌式法蘭結構,方便放取樣品

三個加熱區實現更長的溫度區和一個特定的溫度梯度

內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

輸入電壓

220VAC 單相

功率

8kW

石英管尺寸

8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" Length

儀器中包含一根石英管,以下尺寸可以作為選用,(點擊查看詳細資料)

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

高工作溫度: 1100℃

連續工作溫度: 400 -1000℃

大加熱冷卻速率: 10℃/min

加熱區

總加熱區長度:900 mm (36")

三個溫區: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

恒溫區: 500 mm (三個溫區可以設置同樣的溫度)

溫度控制器

三個溫度控制器,采用 PID 方式,通過可控硅來進行溫度控制,可以設置30段升降溫程序

設有一個額外的溫度校準檢測系統

雙K型熱電偶 安裝在儀器里

控溫精度: ±1℃

軟件接口模塊和PC機不在標配內需額外訂購

密封法蘭和進氣接口

不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到 (機械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內

右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF25真空接口. 標配內包括KF25真空擋板閥和1.2 米 KF-40 不銹鋼波紋管. ( 如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶)

包括一個石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

左側法蘭安裝在可移動的滑軌機構上. 法蘭上設有五路進氣接口每個進氣口采用精密不銹鋼針閥密封.

左端密封法蘭上裝有4片磨砂石英擋片用于阻止熱輻射. P建議采用水冷機組,為了美好的未來,請節約每一滴用水

產品尺寸

爐體: 1000L x 700 W x 1060 H mm

滑軌長度: 600mm L

注意: 你必須把爐體和滑動機構放置在同一基準面上。

凈重

354Kg

包裝尺寸

70" x 70" x 65"

運輸重量

354Kg

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