帶0.1μm/0.4μm分辨力/重復精度的指示精度可達(1.1+0.6L/600)μm。
　　高精度測高儀加入了廣泛的測量功能。
　　為了達到的精度，使用高精度反射性線性編碼器和高精度導軌。
　　測量可以通過圖標命令來執行，同時，也支持一鍵操作，保證正面的垂直度為5μm，直線度為4μm。
　　使用TFT液晶顯示屏，以達到完美的可視性和可操作性。氣體全浮/半浮系統可以進行空氣浮動高度調整。
　　配有基本的統計功能，另外，RS-232C數據輸出可通過連接計算機上的SPC軟件，進行外部測量數據評估(可選)。
　　數據備份/恢復，測量工件程序可通過USB存儲設備來執行(FAT16/32兼容格式)。測量范圍:0-977mm滑動行程:600mm分辨力(可切換):0.0001/0.001/0.01/0.1mm20oC時精度*1:(1.1+0.6L/600)μmL為大測量長度(mm)
　　重復精度(2σ)*1:平面:0.4μm，孔:0.9μm
　　垂直度*2:5μm(補正后)
　　直線度*2:4μm(機械直線)
　　驅動方式:手動/電動(5-40mm/s,7級)
　　測力:1N
　　平衡方式:配重(自動恒壓裝置)
　　浮動方式:帶有內置空氣壓縮機的全/半浮動
　　顯示:5.7英寸彩色TFT液晶顯示
　　顯示語言:日語、英語、德語、法語、意大利語、西班牙語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、繁體中文、簡體中文、韓語。
　　可存儲程序:可達50個測量程序
　　可存儲數據:可達60,000個測量數
　　電源:AC適配器/電池(Ni-MH)
　　電池操作時間:大約5小時
　　(空氣浮動和滑塊占儀器工作量的25%的情況下)
　　*1使用標準5偏心測頭
　　*2使用杠桿測頭(MLH-521)或Mu-checker(M-511